精密ステージ EX

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1. シンプルなXY構造

案内部にクロスLMガイドCSRを使用し、従来型XYステージのようにサドルを使用しない構造のシンプルなXYステージです。

2. すぐれた応答性

クロスLMガイドCSRを使用した構造により、中間サドルが削除され、さらに2軸のモータとも固定する特殊な構造を採用しました。これにより、動作部を極限まで軽量化し、各軸の慣性力を抑え、すぐれた高速応答性を実現しました。

〔モータ軸換算負荷:慣性モーメントJ〕
EX0505:X軸 0.026[kg-cm2], Y軸 0.027[kg-cm2]
EX0808:X軸 0.029[kg-cm2], Y軸 0.030[kg-cm2]
注) カップリング、および搭載質量の慣性モーメントは考慮していません。

3. 高剛性XYステージ

XY案内部に4方向等荷重のクロスLMガイドCSRを使用することにより、ラジアル剛性はクロスローラーガイドを使用したステージに比べ高剛性です。

4. ガタのない連結機構

X軸の駆動部は、直動案内のLMガイドと駆動用ボールねじを一体化し、省スペース、高剛性、高精度なKRを採用しています。トップテーブルとの連結はLMガイドHSRで適正予圧を与えていますのでガタのない構造です。
※ 特殊仕様も製作いたしますのでTHKまでお問い合わせください。

EX製品一覧


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EX
XYステージ
ストローク:50mm×50mm~75mm×75mm
仕様・寸法図
2D-CAD(DXF)EX0505
2D-CAD(DXF)EX0808
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