精密ステージ CHX

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1. 超薄型

予圧型フレキシブル平面軸受の採用と同一平面上に駆動モジュールを3箇所配置したことにより、超薄型アライメントステージを実現しました。

2. トップテーブルの小型化

トップテーブルのサイズは縦横ともに、100~200mmです。
従来のアライメントステージCMXよりも小型なトップテーブルが選択可能です。

3. 中抜き構造の設定可能

トップテーブル・ベース中央部に、貴社のご要望に応じて中抜き構造の選択が可能です(特殊対応)。
下面からの透過光測定、機械・装置の配線処理の簡略化、トップテーブルインロー穴として活用出来ます
※ CHX-160-L, CHX-125-H, CHX-200-Hタイプは中抜き構造を標準対応しています。
  さらに、CHX-125-H, CHX-200-Hタイプについては、中抜き構造の特殊対応が可能です。

4. 結線作業の簡略化

モータ、センサの接続用コネクタが一方向に集約しているため、結線作業を簡単に行うことができます。

CHX製品一覧


※2D-CAD(DXF)のダウンロードがうまく行かない場合は、「2D-CAD(DXF)」ボタンの上で右クリックして「対象をファイルに保存」を行ってください。
CHX-100-L, CHX-160-L
アライメントステージ
ステージ高さ:35, 45mm テーブルサイズ:□100mm, □160mm
仕様・寸法図
CHX-125-H, CHX-200-H
アライメントステージ
ステージ高さ:60mm テーブルサイズ:□125mm, □200mm
仕様・寸法図
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