基板検査装置

  • 使用形番
  • GLM
  • GL-N
基板搬送部にGLMを、検査装置の移動部にGL-Nを使用しています。リニアエンコーダのフルクローズド制御により、高精度で信頼性の高いシステムが構築可能です。

基板検査装置の使用例

使用製品

GLMGL-N
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